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在单向流洁净室以及单向流净化设备中,可以发现沿壁的和两个过滤器搭接处下方的反向气流。这种气流将把下方的污染传输到上部再送下来,破坏了上述“活塞流”的状态,危害极大。对于和外界有开口相通的局部净化设备,例如洁净工作台,这种气流将引射外界污染气流,在设计上一定要减小过滤器边框处所占的无效面积,更要设法使空间的壁面尽量接近过滤器有效迭风截面。

通过上面分析,可以认为保证单向流洁净室特性(高洁净度和快速自净恢复能力)的重要先决条件有两个:①来流的洁净度;②来流的活塞流情况;

对于来流的洁净度,对通过高效以上过滤器送风的单向流洁净室来说是不成问题的,而对于来流的“活塞流”情况,力天世纪空气净化工程公司,则需作进~步分析。

根据流体力学原理,来流条件对以后的流动状况将有直接的重要影响,送风面出口气流也就是工作区的来流。

来流的紊动性大,则将影响后面的单向流特性;来流未充满流动截面,则将影响后面是否能形成“活塞流”和形成的快慢;而来流未充满流动截面也是来流素动的一个因素。所以,环境空气净化工程,在采用高效过滤器的条件下,保证单向流洁净室特性的必要条件是“活塞流”,而“活塞流”的必要条件则是来流充满流动截面。但是,对一间房间而不是一段管道来说,让气流从头至尾完全充满流动截面也是不现实的。

初,确实认为这种单向平行的气流应该充满整个洁净室,莱芜空气净化工程,但这在技术上和经济上都是不利的。随着认识的发展,人们又指出这种单向流只是“在有限的领域内全部空气沿平行流线以等速流动的意思”,并认为能极力抑制涡流的发生。通过全空间的清洁空气的单向流特性占支配地位的那样的房间,也称为单向流洁净室。这就是说,不要求在整个房间都具有单向平行的流线,均匀的速度,专业承接空气净化工程,没有涡流,而是只要求单向平行流特性在这个房间中占支配地位,例如在整个工作区这一层空间保证了单向流,这个房间就是单向流洁净室。前面介绍过的国内外有关标准、措施中关于单向流洁净室达到的高洁净度,就是指在工作区内达到的洁净度。因此,密集布置的流线型散流器顶送和全孔板顶送,也被作为实现垂直单向流的手段使用。


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以上三种形式无尘车间各有其优缺点,IC 前工序生产厂通常采用港湾式和开放式无尘车间,港湾式无尘车间在5”、6”IC生产厂用得较多,其工艺设备为穿墙式:而8”、12”IC生产厂则普遍采用开放式无尘车间加微环境( mini-environment)的方式。开放式无尘车间显著的优点首先是对工艺布置带来至大的灵活性,这尤为重要,因为当今[C生产技术发展极为迅速,不论产品本身要求还是工艺生产过程和生产设备都处在不断变化中,而IC生产工厂的建设周期从开始设计到安装工艺设备通常需要一年半左右的时间,在这段时间内丁艺生产技术以及工艺没备需要不断的调整和更新
HEPA空气过滤器的材料主要是用超细玻璃纤维作滤料,热熔胶作分隔物、与各类外框装配,外观美观,与有隔板高效过滤器相比,在相同风量作用下,具有体积小、重量轻等优点。HEPA空气过滤器设计特点1、效率高捕集0.1~0.3μm以上的微2、阻力低3、重量轻4、安装方便5、符合GB/T14295-93《空气过滤器》6、符合GB/13554-92《高效空气过器
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